產(chǎn)品詳情
用于 AFM / SPM 的超高性能閉環(huán)掃描儀
用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操作工具
共振頻率 9.8 kHz,用于特別快速的掃描
導(dǎo)向誤差自動補償?shù)钠叫袦y量技術(shù)
分辨率 50 皮米
行程范圍 5 μm × 5 μm × 5 μm
應(yīng)用領(lǐng)域
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描和篩選
零間隙撓性導(dǎo)軌帶來高導(dǎo)向精度
撓性導(dǎo)軌無需維護、摩擦和磨損,也不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力,并且它們對沖擊和振動不敏感。它們是 真空兼容的,可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。
由于平行位置測量,在納米范圍內(nèi)具有高跟蹤精度
所有的自由度都是根據(jù)一個固定的參考來測量的。軸之間不需要的串?dāng)_可以實時(取決于帶寬)主動補償(主動引導(dǎo))。即使在動態(tài)操作中,也能在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,無需接觸。它們保證了出色的運動線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速組件更換
機械裝置和控制器可根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械裝置的 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開控制器時,數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
PI 用于掃描探針顯微鏡的動態(tài)納米定位器P-363 PicoCube XY(Z)