產(chǎn)品詳情
- 運行室中的專用初始慢速填充可以實現(xiàn)理想的流體動力學(xué)，從而保留敏感的微型設(shè)備。
- 通過可接近的部件，包括外部吹掃后過濾器組件，維護變得容易。
- “渦流”技術(shù)：非機械攪拌室，允許流體動態(tài)交換，無需產(chǎn)生顆粒的摩擦裝置。
- 集成閉合冷卻回路可快速降低腔室溫度，縮短工藝運行時間。
- 內(nèi)部SOTER（tm）冷凝器安靜地捕獲并分離二氧化碳廢氣和廢酒精。
- 腔室插入件可實現(xiàn)腔室內(nèi)徑的變化，更大限度地提高LCO2消耗效率、工藝時間，并提供多種尺寸的晶圓工藝能力。
- 處理室LCO2過濾至0.08μm，顆粒保留率達到99.999%+。
- 每次運行可處理五個8“（200mm）晶圓。包括以下HF兼容晶圓夾：8”（200mm）、6”（150mm）、4”（100mm）、3”（75mm）、2”（50mm）和10mm模具夾。
- 通過觀察窗口實現(xiàn)腔室照明，有助于腔室狀態(tài)可視化。
- 自動處理與工廠默認配方或自定義自己的能力。
- 所有內(nèi)表面對二氧化碳和超純醇都是惰性的。
- 可重復(fù)的操作參數(shù)，確保結(jié)果的“再現(xiàn)性”。
- 操作功能集成在溫度和壓力自動調(diào)節(jié)中。
- 潔凈室無靜電兼容設(shè)計。
可選功能與配件
8760-03：8“工藝室用KNURL螺母
8760-41：適用于Autosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的3A保險絲
8760-42：適用于Autosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的8A保險絲
8770-13：LED室燈，120V
8770-32：高壓軟管，5英尺
8770-33：高壓軟管，10英尺
8770-80：4“工藝腔室的腔室蓋
8785：雙T形過濾器組件
8770-83B：用于LCO2 T型過濾器或外部吹掃管線過濾器的0.5μm不銹鋼顆粒過濾器元件。
8784-05：LCO2儲罐連接墊片
8770-51T/916B：AutomegaSamdri-938和AutomegaSambri-916B的O型環(huán)
8770-48：流量計-與Automegasamdri-938或Automegasamdri 916B（180 SCFH）一起使用
8770-54：LCO2油箱秤，帶遠程顯示器
8768H：8“-200毫米HF兼容晶圓架，容納5個晶圓
8768A：6“-150mm HF兼容晶圓架，容納5個晶圓
8768F：5“-125mm HF兼容晶圓架，容納5個晶圓
8768B：4“-100mm HF兼容晶圓架，容納5個晶圓
8768C：3“-75mm HF兼容晶圓架，容納5個晶圓
8768D：2“-50mm HF兼容晶圓架，容納5個晶圓
8768G：1“-25mm HF兼容晶圓架，容納5個晶圓
8768E：10mm方形HF兼容芯片支架，可容納5個芯片
