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MKSGE50A質(zhì)量流量控制器

數(shù)量(個)	價格
1	9999.99元/個

供貨總量：電議
最小起訂： 1個
發(fā)貨地址：廣東深圳市
付款方式：面議
發(fā)布日期：2024-12-14
訪問量：54

咨詢電話：135-1022-3365

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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

實名認證企業(yè)認證

聯(lián)系人：張志通
手機：13510223365
電話：135-10223365

營業(yè)執(zhí)照：已審核
經(jīng)營模式：貿(mào)易公司-私營獨資企業(yè)
所在地區(qū)：廣東深圳市
家家通積分：13865分

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詳細參數(shù)
品牌	AMAT	規(guī)格型號	PCS
編號	550	計量單位	1個
付款方式	面議	參考價格	9999.99
價格單位	人民幣	供貨量	不限
說明書，報價手冊及驅(qū)動	暫無相關(guān)下載	其他資料下載	暫無相關(guān)下載
產(chǎn)地	美國	發(fā)貨地	廣東深圳市

產(chǎn)品詳情

氣體質(zhì)量流量計氣體流量控制MKS 1159B 通用型

目前所做的MFC的相關(guān)品牌和型號如下列出：MKSGE50A質(zhì)量流量控制器

UNIT、TYLAN、MKS、STEC、BROOKS、AREA；
UNIT:UFC-1000 1100 1200 1500 1660 8100 8160 1661 8161；
Tylan: FC-260 261 2900v 2900M 2901 280；
MKS:1149A 1479A 1159B；
STEC:SEC-4400 E40 E50 7440 7330 7340 440J 410 510；
Brooks 5850E 5851E 5850EM 5964 GF100 5850I 5853；
AERE：FC-7700 7800 770AC 780C 7710CD 7810CD R7700CD R7800CD 980C D980

MKS電源EDGE210R40A-G12/660-210103-225CMLH-31-120S09

MKS7650/AX7651電源RPS銷售和維修

MFC-BF3/PH3

GRANVILLE-PHILLIPS/MKS390510-2-YG-T/355400-0-TE-T/355400-0-YE-M

AMAT1350-01173氣體控制器壓力控制器mks640B-29652/640A14312

MKS Type 640 Pressure Controller 640A21TW1VA2V-S new

貨物清單號 # CONB-2509

這個MKS壓力控制器是全新的，工程剩余產(chǎn)品，性能和外觀都非常完美。如果您的設(shè)備上有類似產(chǎn)品需要進行更新替換，請聯(lián)系我們購買。

產(chǎn)品說明:

Model No: 640A21TW1VA2V-S

Range: 20 Torr

VCR connection, 15 pin interface

CE marked

Made in USA

拍前請聯(lián)系店主普發(fā)真空計PKR251 英?？?

產(chǎn)品簡介：

瑞士INFICON PEG100潘寧真空計，這款堅固的潘寧冷陰極電離真空計可準確測量 1 x 10-2 毫巴到低至 1 x 10-9 毫巴的高真空壓力。還有現(xiàn)場總線可供選擇。

PEG100潘寧真空計 的詳細介紹

INFICON PEG100潘寧真空計提供可靠的高真空測量。堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會出現(xiàn)單絲燒毀的現(xiàn)象。由于采用鈦陰極板且等離子點火后高電壓將會降低，潘寧真空計還可在濺射應(yīng)用環(huán)境下運行。現(xiàn)場總線選件以及對數(shù)模擬輸出信號允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協(xié)議，將真空計輕松集成到真空系統(tǒng)中。
PEG100潘寧真空計益處：

測量范圍廣，從 1 x 10^-9 至 1 x 10^-2 毫巴（7.5 x 10^-10 至 7.5 x 10^-3 托）
全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置
創(chuàng)新的電極幾何形狀提供***的點火屬性
等離子點火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險，即使在有氬氣的濺射運行中
陽極環(huán)和鈦陰極可輕松進行清潔或更換
***小化真空計附近的磁場強度
用于電源接通和等離子體點火的 LED 指示器
對數(shù)模擬輸出信號
現(xiàn)場總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計輕松集成到真空系統(tǒng)中

PEG100潘寧真空計典型應(yīng)用：

高真空壓力監(jiān)控
蒸發(fā)濺射系統(tǒng)
高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

PEG100潘寧真空計選型指南：

PEG100零件號說明351-000 351-002 351-003 351-004 351-005

真空計

PEG100-P 規(guī)管

PEG100D 型真空計

PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F

PEG100-P 規(guī)管

備件

PEG100零件號說明351-490

陰極片

HP . HP+ . HDP Robot 維修

FOR: AMAT 200 mm Centura . Endura . RTP . HTF . HDP . MXP . SUPER E . DPS . WCVD .

mks640A-14312/640A-29747流量壓力計60/100psl現(xiàn)貨供應(yīng)

brooksinstrument VDM300維修與銷售lam796-055344R007

MKS質(zhì)量流量計1179A00423CR1BV氣體Ar 2000sccm

LAM796-055344-005水蒸汽輸送模塊brooksinstrument VDM300

27-126062-00 3310-01071 ？； 1350-01027 ？； 1350-01021 ？； 60-10006-00 275821 3310-01055 275185 27-126029-00 629B-15894

美國CTI-Cryogenics 、CVI、Austin，德國Leybold、日本Anelva、住友重工 (SHI、APD 、Daikin)、 ULVAC、Suzuki等公司低溫泵冷凝泵。

提供GM及SV 冷凝泵低溫泵的配件。

下面是出售的部分冷泵及配件（還有很多配件沒有上傳，歡迎來電咨詢）：

ON BOARD 8F CRYOPUMP AMAT ENDURA 8116143G001

CTI-TOR8

Cryo-Torr Interface 8135903G001

Granville-Phillips Vacuum Guage Controller NR

15K High Capacity Array

CTI Maintenance Kits

Helium Line AMAT 3400-01109 CTI 8043086G240

TC Gauge 8112105

Cryo-Torr Interface 8135903G001

mks TYPE670真空計校準儀690傳感器

722C01TCD2FJ電子真空計MKS真空壓力計 1TORR 4VCR

brooksinstrument VDM300維修與銷售lam796-055344R007

MKS MFVC-29886 MKS MFVC-34785 MKS MFVC-32497 MKS VODMB-26565 LAM 797-004456R005 MKS390100-YG 275071 392100-YE MKS-226A-29571 AMAT0190-50856 0190-51152 MKS649A12T51CAMR 1179A01922CR1AV-K MKS GE50A-30351

BROOKS AUTOMATION控制器維修978-262-2900（165463）

MKS SENTRY 1510流量計AERA EPV100-AW

TEL設(shè)備流量計維修ckd tpr4-35-A100T-X0002

cooling

temperature under 25° C and a backing pump of 10,000 l/min size or larger used.

The value is changed if operated under different conditions

Technical Data

STP-iXA4506 Series/Pumping Speed Against Inlet Pressure

EDwardsSTP-H1303C分子泵加SCU-800控制器現(xiàn)貨

美國FIL-TECH 對流表CONVECTION GAUGES CVG101GA/101GB/1

01GG

VAT APC Controller(PM7)796-098290-002

mks真空計356004-YG-THORIBA VALVE全新原件0190-36237流量計

MKS390521-3-YH-T-0018GRANVILLE-PHillips 真空計AMAT氣體流量計0190-51152

Granville-Phillips 隔膜規(guī)390628-0-YE-T 390B6636

MKS 390628–0-YE MKS GRANVILLE-PHILLIPS gauge P/N：390628–0-YE-T 390628-0-YE-T 390B6636

LAM796-055344-005

特點

流量范圍：3 slpm （去離子水蒸汽）
具有超高流量精度的直接水蒸汽測量
能直接連接到廠房去離子水供應(yīng)系統(tǒng)
在較低溫度下可操作（非過熱狀態(tài)）
沖刷和排水的優(yōu)化設(shè)計
EtherCAT數(shù)字通訊
Brooks Expert Support Tool (BEST)圖形用戶界面

優(yōu)勢

采用了成熟可靠的熱式質(zhì)量流量測量和控制技術(shù)
適用于各種FAB去離子水供水的壓力
接液件耐腐蝕性能增強
確保更清潔的操作
可匹配各種設(shè)備的模擬或數(shù)字通訊接口
直接用戶界面可增強數(shù)據(jù)收集或故障排查

應(yīng)用

硅材料半導(dǎo)體金屬刻蝕后段工藝
硅材料半導(dǎo)體金屬剝離工藝
在負大氣壓的環(huán)境中超高純加濕

LAM797-800733-100半導(dǎo)體機臺配件MFC649B-32597

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

SEC-Z11DWM [ 堀場 STEC ]

質(zhì)量流量控制器 SEC-Z11DWM SHI4 50SCCM

SEC-N112MGM [ 堀場 STEC ]

質(zhì)量流量控制器 SEC-N112MGM N2 300SCCM B-14W3 9P 3

SEC-Z719JX [ 堀場 STEC ]

質(zhì)量流量控制器 SEC-Z719JX SICL4 100SCCM BLK-C 9P

SEC-N112MGM [ 堀場 STEC ]

控制器TRIAS EX2 MFC11 NH3 1SLM

GP-Z104-C [ 堀場 STEC ]

真空計 GP-Z104 0.1TORR

mks360/370

AMAT AE PARAMOUNTRF generator0190-441-5

GRANVILLE PHILLIPS 390 Series Micro-Ion gauge ATM Module:

PN:390628-0-YE-T,

PN:390506-3-YE-T,

加熱元件的發(fā)熱越有效，需要對它們進行的加熱就越少。Plansee 研發(fā)了一種能夠最大化熱輸出的涂層工藝。

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司供應(yīng)半導(dǎo)體過濾器半導(dǎo)體配件mks真空計流量計等進口控制器

供應(yīng)CTI低溫泵維修和銷售詳細介紹

CTI(Ulvac)低溫泵和氦氣壓縮機維修、銷售和技術(shù)咨詢8200/9600

CTI(Ulvac)低溫泵和氦氣壓縮機維修、銷售和技術(shù)咨詢。

OB8F:

OEM (CTI) Refurbished CTI Cryogenics Endura 8F Onboard Cryogenic Vacuum Pump.

. Utilized on AMAT Endura HP PVD Systems, OEM Refurbished to Like New Condition.

. Certificate of manufactures conbity attached.

. ConFlat Flange with Copper Gasket. In OEM Box

. CTI Part # 8116143G001 Serial # A06423485 AMAT Part # 0190-13371

8200: 8032559G001

美國CTI壓縮機維修9600: 8135900G001

MKS354005-YD-T

Granville-PHillips真空計 275529-EU

1.型號：275529-EU

2 MKS390411-0-YE-T真空計GRANVILLE-PHILLIPS

3.非實價，議價！英?？嫡婵沼婱KS354005-YD-T離子對撞壓力計MKS
INFICON BAG302 B-A 型熱陰極電離真空計(中高真空計)

INFICON 單臺 Bayard-Alpert 熱離子計 BAG302 的測量范圍從 1.3 × 10-9 到 6.7×10-2 mbar（1 × 10-9 到 5 × 10-2 Torr）。緊湊型一體化熱離子計BAG302提供易于更換的雙燈絲傳感器，內(nèi)置OLED顯示屏，設(shè)定點繼電器和對數(shù)線性模擬輸出以及集成的RS485數(shù)字接口，可提高集成靈活性。這些功能與堅固的設(shè)計相結(jié)合，使BAG302成為一種經(jīng)濟實惠且可重復(fù)的過程，可作為自己的壓力測量儀器的基礎(chǔ)，并提供高價值/低擁有成本的選擇。

INFICON 的 BAG302 熱離子計是下面列出的 MKS/GP 部件號的直接直接替代品。這還包括較舊的傳統(tǒng) MKS 354 微離子®模塊。

MKS系列部件號顯示單位輸出法蘭型燈絲 INFICON部件號

355 微離子®
355400-0-碼不托模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

355 微離子®
355400-0-葉-T 不托模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

355 微離子® 355400-0-YK-T 不托模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

355 微離子® 355400-0-YF-T 不托模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

355 微離子® 355400-0-YG-T 不托模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

355 微離子®
355400-0-碼不毫巴模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

355 微離子®
355400-0-葉-T 不毫巴模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

355 微離子® 355400-0-YK-T 不毫巴模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

355 微離子® 355400-0-YF-T 不毫巴模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-052

355 微離子® 355400-0-YG-T 不毫巴模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

355 微離子®
355400-0-碼不帕斯卡模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

355 微離子®
355400-0-葉-T 不帕斯卡模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

355 微離子® 355400-0-YK-T 不帕斯卡模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

355 微離子® 355400-0-YF-T 不帕斯卡模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

355 微離子® 355400-0-YG-T 不帕斯卡模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

355 微離子®
355600-0-碼發(fā)光二極管托模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

355 微離子®
355600-0-葉-T 發(fā)光二極管托模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

355 微離子® 355600-0-YK-T 發(fā)光二極管托模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

355 微離子® 355600-0-YF-T 發(fā)光二極管托模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-052

355 微離子® 355600-0-YG-T 發(fā)光二極管托模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

355 微離子®
355600-0-碼發(fā)光二極管毫巴模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

355 微離子®
355600-0-葉-T 發(fā)光二極管毫巴模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

355 微離子® 355600-0-YK-T 發(fā)光二極管毫巴模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

355 微離子® 355600-0-YF-T 發(fā)光二極管毫巴模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

355 微離子® 355600-0-YG-T 發(fā)光二極管毫巴模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

355 微離子®
355600-0-碼發(fā)光二極管帕斯卡模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

355 微離子®
355600-0-葉-T 發(fā)光二極管帕斯卡模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

355 微離子® 355600-0-YK-T 發(fā)光二極管帕斯卡模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

355 微離子® 355600-0-YF-T 發(fā)光二極管帕斯卡模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

355 微離子® 355600-0-YG-T 發(fā)光二極管帕斯卡模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

355 微離子®
355410-0-碼不托 RS485 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

355 微離子®
355410-0-葉-T 不托 RS485 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

355 微離子® 355410-0-YK-T 不托 RS485 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

355 微離子® 355410-0-YF-T 不托 RS485 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

355 微離子® 355410-0-YG-T 不托 RS485 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

354 微離子®
354001-YD-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不托模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

354 微離子®
354001-YE-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不托模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

354 微離子® 354001-YK-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不托模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

354 微離子® 354001-YF-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不托模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

354 微離子® 354001-YG-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不托模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

354 微離子®
354001-YD-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不毫巴模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

354 微離子®
354001-YE-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不毫巴模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

354 微離子® 354001-YK-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不毫巴模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

354 微離子® 354001-YF-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不毫巴模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

354 微離子® 354001-YG-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不毫巴模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

354 微離子®
354001-YD-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不帕斯卡模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

354 微離子®
354001-YE-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不帕斯卡模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

354 微離子® 354001-YK-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不帕斯卡模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

354 微離子® 354001-YF-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不帕斯卡模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

354 微離子® 354001-YG-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不帕斯卡模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

354 微離子®
354002-YD-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管托模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

354 微離子®
354002-YE-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管托模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

354 微離子® 354002-YK-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管托模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

354 微離子® 354002-YF-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管托模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

354 微離子® 354002-YG-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管托模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

354 微離子®
354002-YD-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管毫巴模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

354 微離子®
354002-YE-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管毫巴模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

354 微離子® 354002-YK-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管毫巴模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

354 微離子® 354002-YF-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管毫巴模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

354 微離子® 354002-YG-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管毫巴模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

354 微離子®
354002-YD-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管帕斯卡模擬 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

354 微離子®
354002-YE-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管帕斯卡模擬 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

354 微離子® 354002-YK-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管帕斯卡模擬 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

354 微離子® 354002-YF-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管帕斯卡模擬 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

354 微離子® 354002-YG-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）發(fā)光二極管帕斯卡模擬 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

354 微離子®
354005-YD-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不托 RS485 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

354 微離子®
354005-YE-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不托 RS485 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

354 微離子® 354005-YK-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不托 RS485 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

354 微離子® 354005-YF-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不托 RS485 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

354 微離子® 354005-YG-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不托 RS485 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

354 微離子®
354005-YD-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不毫巴 RS485 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

354 微離子®
354005-YE-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不毫巴 RS485 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

354 微離子® 354005-YK-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不毫巴 RS485 DN 40 國際標準-KF 釕涂層銥 352-052

354 微離子® 354005-YF-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不毫巴 RS485 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

354 微離子® 354005-YG-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不毫巴 RS485 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

354 微離子®
354005-YD-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不帕斯卡 RS485 DN 16 國際標準-KF 釕涂層銥 352-050

354 微離子®
354005-YE-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不帕斯卡 RS485 DN 25 國際標準-KF 釕涂層銥 352-051

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354 微離子® 354005-YF-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不帕斯卡 RS485 DN 16 CF-R 釕涂層銥 352-053

354 微離子® 354005-YG-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品）不帕斯卡 RS485 DN 40 CF-R 釕涂層銥 352-054

進口CWFG00403 光刻膠過濾器 WGGB06S02濾芯

ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的簡稱，中文名稱為阿斯麥（中國大陸）、艾司摩爾（中國臺灣）。艾司摩爾（ASML）為半導(dǎo)體設(shè)備供貨商，成立于1984年，是從荷商飛利浦分割出來獨立的半導(dǎo)體設(shè)備公司，總部設(shè)立于荷蘭的Veldhoven。

ASML為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機及相關(guān)服務(wù)，TWINSCAN系列，應(yīng)用最為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商，都向ASML采購TWINSCAN機型，例如英特爾（Inb），三星（Samsung），海力士（Hynix），臺積電（TSMC），中芯國際（SMIC）等。

ASML的產(chǎn)品線分為PAS系列，AT系列，XT系列和NXT系列，其中PAS系列光源為高壓汞燈光源，現(xiàn)已停產(chǎn)，AT系列屬于老型號，多數(shù)已經(jīng)停產(chǎn)。市場上主力機種是XT系列以及NXT系列，為ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的機型，分為干式和沉浸式兩種，而NXT系列則是現(xiàn)在主推的高端機型，全部為沉浸式。

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