harmonic精密清洗諧波CSG-45-160-2UH

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第14年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSG-45-160-2UH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置立式加速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制否
樣品或現(xiàn)貨樣品齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍工業(yè)減速比242
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

有機(jī)物雜質(zhì)在IC制程中以多種形式存在，如人的皮膚油脂、harmonic精密清洗諧波CSG-45-160-2UH 凈化室空氣、機(jī)械油、硅樹(shù)脂真空脂、光致抗蝕劑、清洗溶劑等。每種污染物對(duì)IC 制程都有不同程度的影響，通常在晶片表面形成有機(jī)物薄膜阻止清洗液到達(dá)晶片表面。因此有機(jī)物的去除常常在清洗工序的第harmonic精密清洗諧波CSG-45-160-2UH一步進(jìn)行。

 2.3 金屬污染物   

IC電路制造過(guò)程中采用金屬互連材料將各個(gè)獨(dú)立的器件連接起來(lái)，首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口，再利用蒸發(fā)、濺射或化學(xué)汽相沉積（CVD）形成金屬互連膜，如Al-Si，Cu等，通過(guò)harmonic精密清洗諧波CSG-45-160-2UH蝕刻產(chǎn)生互連線，然后對(duì)沉積介質(zhì)層進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）。

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