哈默納科精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH

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第13年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSF-17-50-2UH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置臥式減速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式同軸式用途減速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩1782N.m
使用范圍礦產(chǎn)減速比232
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

 干法清洗采用氣相化學(xué)法去除晶片表面污染物。哈默納科精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH氣相化學(xué)法主要有熱氧化法和等離子清洗法等，清洗過(guò)程就是將熱化學(xué)氣體或等離子態(tài)反應(yīng)氣體導(dǎo)入反應(yīng)室，反應(yīng)氣體與晶片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成易揮發(fā)性反應(yīng)產(chǎn)物被真空抽去。哈默納科精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH各種污染物的去除措施分別列于表4。在CI包容環(huán)境中退火是一種典型的熱氧化過(guò)程，在氧化爐中進(jìn)行，氬（Ar）濺射通常在濺射淀積前現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行。

等離子清洗采用激光、微波、熱電離等措施哈默納科精密關(guān)節(jié)諧波CSF-17-50-2UH將無(wú)機(jī)氣體激發(fā)到等離子態(tài)活性粒子，活性粒子與表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子，產(chǎn)物分子進(jìn)一步解析形成氣相殘余物脫離表面。 4 y)

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