產(chǎn)品詳情
有臥式擴(kuò)散系統(tǒng)及立式擴(kuò)散系統(tǒng)兩種類型。按控 制方式又分為微控和程控兩種。harmonic柜控系統(tǒng)諧波CSF-17-50-2UH其組成有:電阻加熱爐、凈化工作臺(tái)、送片系統(tǒng)、氣源柜、控制柜等。
PECVD 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)原理是利用低溫等離子harmonic柜控系統(tǒng)諧波CSF-17-50-2UH體作能量源,樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升 溫到預(yù)定的溫度,然后通入適量的反應(yīng)氣體,氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),在樣品表面形成固態(tài)薄膜。
MOCVD 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MOCVD)主要應(yīng)用于化合harmonic柜控系統(tǒng)諧波CSF-17-50-2UH物半導(dǎo)體材料的研究和生產(chǎn),是當(dāng)今世界上生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件材料的主要手段