產(chǎn)品詳情
工作原理
渦輪分子泵轉(zhuǎn)子是一個(gè)帶葉片的渦輪，快速旋轉(zhuǎn)的葉片將動量傳輸給氣體分子，將起初無方向性的熱運(yùn)動變成有定向運(yùn)動。
渦輪分子泵的抽氣過程就是使氣體分子從進(jìn)氣口法蘭定向運(yùn)動到前級真空口。
在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強(qiáng)時(shí)，氣體分子的平均自由行程大于轉(zhuǎn)子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點(diǎn)幾毫米)，分子主要與轉(zhuǎn)子葉片碰撞，所以
抽氣過程非常高效。
在粘滯流范圍，也就是壓強(qiáng)超過10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情況則*不同，分子間的頻繁碰撞降低了轉(zhuǎn)子的效率。因此，渦輪分子泵無法在大氣壓下工作，需要適當(dāng)抽速的前級真空泵。
為了使氣體分子產(chǎn)生定向運(yùn)動，轉(zhuǎn)子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以，轉(zhuǎn)子也要有相應(yīng)的高轉(zhuǎn)速。對于萊寶真空的渦輪分子泵而言，較大直徑轉(zhuǎn)子（例如 TURBOVAC 1000 ，大約20cm(7.87in.)）的轉(zhuǎn)速大約為36000rpm，而較小直徑轉(zhuǎn)子（例如TURBOVAC50，大約6cm(2.36in.)）的轉(zhuǎn)速為72000rpm。
