哈默納科EUV技術諧波SHD-14-50-2SH

數量(臺) 價格
222 34532.00元/臺
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第14年

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詳細參數
品牌HarmonicDrive型號SHD-14-50-2SH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動比級數單級軸的相對位置立式加速器
傳動布置形式同軸式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式擺線式用途變速機
輸入轉速3000rpm額定功率360kw
輸出轉速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍礦產減速比23
產地日本

產品詳情

從上世紀80年代到本世紀初，光學曝光是主要的光刻方法，光學曝光使用深紫外光哈默納科EUV技術諧波SHD-14-50-2SH 。從20世紀80年代初的3mm集成電路到2004年90nm的集成電路的發(fā)展，光學曝光光源使用汞燈，波長從G線（436nm）、I線（365nm），再到使用準分子激光光源，波長為248nm和193nm。哈默納科EUV技術諧波SHD-14-50-2SH過去的十年中產業(yè)界利用大數值孔徑和浸沒式曝光技術，以及離軸照明技術(Off Axis illumination,OAI)、空間濾波技術、相位移掩模（Phase Shift Mask, PSM）、光學臨近效應校正技術等光學曝光分辨率增強技術哈默納科EUV技術諧波SHD-14-50-2SH ，使用193nm的深紫外光將集成電路最小尺寸做到了22nm。目前利用極紫外（EUV）光刻技術，

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