哈默納科硅片軌道諧波CSG-20-80-2UH

數(shù)量(臺) 價格
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第13年

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詳細參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號哈默納科硅片軌道諧波CSG-20-80-2UH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強沖擊載荷
傳動比級數(shù)雙級軸的相對位置立式加速器
傳動布置形式擺線式加工定制否
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機
輸入轉速3000rpm 960rpm額定功率360kw
輸出轉速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比242
產地日本

產品詳情

半導體制造關鍵工藝技術及設備

半導體芯片制造工藝過程中使用最多的是光刻工藝。哈默納科硅片軌道諧波CSG-20-80-2UH光刻工藝系統(tǒng)所用設備由自動硅片軌道系統(tǒng)串聯(lián)而成。曝光晶圓尺寸大小、曝光分辨率、單位時間曝光晶圓數(shù)是衡量一個光刻機性能的主要技術指標，也是決定一個光刻生產線生產能力的核心設備。

目前通常使用的光刻機包括：接觸式光刻機、接近式光刻機、哈默納科硅片軌道諧波CSG-20-80-2UH掃描投影光刻機、分步重復光刻機、步進掃描光刻機。一般根據生產批量及芯片的特征值不同分別使用不同的光刻系統(tǒng)。接觸式光刻機、接近式光刻機通常用于實驗室小批量生產微米級芯片，此外接觸式光刻機、接近式光刻機也用于微機械結構的光刻加工。大批量亞微哈默納科硅片軌道諧波CSG-20-80-2UH米到納米級芯片通常使用掃描投影光刻機、分步重復光刻機、步進掃描光刻機。

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