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AWS A20 Research Platb®測試系統(tǒng)基于聲波傳感原理,可通過石英傳感器頻率變化和導(dǎo)納-頻率特征譜來檢測芯片表面質(zhì)量和結(jié)構(gòu)變化,適用于剛性和粘彈性薄膜。具有倍頻操作模式,可給出薄膜的粘度,彈性模量,粘性模量,厚度等信息。倍頻曲線也可以用來表征薄膜的均勻性,用來評價沉積方法。測試頻率高達(dá)160MHz,靈敏度可達(dá) 0.05ng/cm2。
一、基本屬性
品牌:AWSensors
型號:AWS A20 RP
類型:AWS多參數(shù)石英晶體微天平
二、應(yīng)用領(lǐng)域
1、腐蝕研究
2、電鍍研究
3、沉積層厚度測試
4、鋰離子電池評價
5、表面涂層研究
6、納米粒子吸脫附
7、離子和溶劑的傳輸
8、表面活性劑去污能力評價
三、技術(shù)參數(shù)
傳感器通道數(shù) |
1-4 個 |
頻率范圍 |
5-160MHz |
頻率分辨率 |
0.001Hz |
頻率穩(wěn)定性 |
±0.05ppm ,0 - 50°C范圍內(nèi) |
相位分辨率 |
<0.001° |
振幅分辨率 |
0.15mV |
傳感器晶體 |
5MHz/10MHz,直徑14mm ,AT切割,13倍頻 |
質(zhì)量靈敏度 |
0.05ng/cm2 |
耗散靈敏度 |
~3×10-8 |
溫度范圍 |
20-40°C ,軟件控制,精確度為0.01°C |
尺寸/重量 |
32×75×45cm(HWD)/25Kg |
分析模型 |
Mass Estimation(Sauerbrey’s Equation) Newtonian Semi-Infinite Medium (Kanazawa’s Equation) Rigid Layer + Newtonian Semi-Infinite Medium (Martin’s Equation) Surface Load Approximation 2 layers(Visco-elasticity Model) |
樣品池采用Q-Lock設(shè)計,該設(shè)計可控制傳感器上方的壓力以保證高頻率測試時的穩(wěn)定性與高低頻諧波的最小失真,同時操作簡單方便可避免操作誤差,無論多少次開關(guān)樣品池,測試都將是重復(fù)可靠的。同時AWS可提供整套的EQCM實驗方案,通過增加電化學(xué)樣品池與配套電化學(xué)工作站,AWS Suite®軟件可實時同步采集兩者信號,完美實現(xiàn)電化學(xué)與QCM的同步測試。