產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點:
支持多20路實時測量晶圓溫度;
溫度均勻性實時曲線圖和數(shù)值顯示;
采集數(shù)據(jù)Excel表格導(dǎo)出,并生成報表;
晶圓溫點分布直觀顯示并自動生成校準(zhǔn)報告;
可快速更換TC-wafer及自定義功能;
大屏高分辨率顯示;
數(shù)據(jù)多采集10次/;
65瓦Type-C快速充電;
內(nèi)置大容量電池,使用可達4小時;
10000條數(shù)據(jù)存儲量;
支持多種傳輸方式,如U盤、藍牙、無線網(wǎng)絡(luò);
便攜一體化設(shè)計;
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TC-Wafer校準(zhǔn)儀 快速退火爐溫場均勻性校準(zhǔn) 產(chǎn)品應(yīng)用:
RTP設(shè)備生產(chǎn)廠家
使用RTP設(shè)備客戶
TC-wafer生產(chǎn)廠家
其他晶圓熱處理設(shè)備