產(chǎn)品詳情
主要用途:
本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經(jīng)管道至設備,具有自動化程度高,配比,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能
控制模式:手動模式,自動模式
優(yōu)勢:
1、 操作安全,節(jié)約人工,減少酸霧揮發(fā)。
2、 配比穩(wěn)定準確,減少人為誤差
3、適用行業(yè):太陽能,LED,半導體集成電路。
中央集中供液系統(tǒng)特點:系統(tǒng)設備比較復雜,自動化程度高,一次性投入較高,但在運營階段短 可以的減少運營人員數(shù)量和降低運營成本, 便于系統(tǒng)管理和維護。 ? 由于行業(yè)內(nèi)常用化學品具有強腐蝕性、劇毒性、 易燃易爆等對人員和設施的高危性質(zhì),中央集中 供液系統(tǒng)可以采用大容量包裝供應方式,降低化 學品的換桶頻率和人員操作次數(shù),安全程度較高。
系統(tǒng)主要功能概述
每種化學液體配兩個桶(自動切換)配 兩臺泵(一備一用)
CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部制程控制,操作界面流程方式執(zhí)行兼具自動化與易用性
自動模式下可自行達成供酸功能
在手動模式及維修模式下可針對單一自動原件操作
操作模式:
CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,
兼具自動化與親和力。
在自動模式情形下可自行達成供酸之功能。
在手動模式及維修模式底下可針對單一自動元件操作。