哈默納科旋轉(zhuǎn)硅片諧波CSF-14-50-2UJ

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第13年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSF-14-50-2UJ
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級數(shù)雙級軸的相對位置立式加速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度硬齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比46
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

光刻膠涂覆方法的四個(gè)基本步驟分別為滴膠、旋轉(zhuǎn)鋪開、哈默納科旋轉(zhuǎn)硅片諧波CSF-14-50-2UJ旋轉(zhuǎn)甩掉多余膠、溶劑揮發(fā)。

硅片上光刻膠涂膠的厚度和均勻性是非常關(guān)鍵的質(zhì)量參數(shù)。光刻膠涂覆過程中主要技術(shù)參數(shù)為：滴膠量，約1~3CC；成膜厚度約1微米左右，哈默納科旋轉(zhuǎn)硅片諧波CSF-14-50-2UJ厚度變化20-50?。光刻膠涂敷系統(tǒng)組成如所示，硅片吸附在真空吸盤上，真空吸盤可繞Z軸旋轉(zhuǎn)，噴嘴可沿X、Y、Z移動(dòng)，圍繞Z旋轉(zhuǎn)。噴嘴沿硅片徑向分滴光刻膠，這哈默納科旋轉(zhuǎn)硅片諧波CSF-14-50-2UJ樣光刻膠就可以均勻噴涂在硅片表面上。光刻膠涂覆后，在硅片邊緣的正反兩面都會(huì)有光刻膠的堆積。

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