哈默納科化學機械諧波CSF-17-80-2UH-LW?

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第13年

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詳細參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號CSF-17-80-2UH-LW
類型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動比級數(shù)雙級軸的相對位置臥式減速器
傳動布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度硬齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍礦產(chǎn)減速比564
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

薄膜生長  薄膜生長工藝用來加工出半導體中的介質(zhì)層、金屬層。哈默納科化學機械諧波CSF-17-80-2UH-LW薄膜工藝包括化學氣相淀積（CVD）和金屬濺射（物理氣相淀積，PVD）。哈默納科化學機械諧波CSF-17-80-2UH-LW薄膜產(chǎn)生后需要使用快速退火裝置（RPT）修復離子注入引入的襯底損傷，以及完成金屬的合金化。最后使用濕法清洗設(shè)備進行硅片清洗。

（6）拋光  CMP（化學機械平坦化）工藝用于硅片表面的平坦化。CMP用化學腐蝕哈默納科化學機械諧波CSF-17-80-2UH-LW

與機械研磨相結(jié)合，以去除硅片表面的凹凸不平。主要設(shè)備是拋光機，輔助設(shè)備包括刷片機、清洗裝置和測量工具。

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