日本HD產(chǎn)線傳送諧波CSF-25-160-2A-GR

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第13年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSF-25-160-2A-G
類(lèi)型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置臥式減速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速960rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比46
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

現(xiàn)在生產(chǎn)線上顯影液涂覆方法主要有兩種：日本HD產(chǎn)線傳送諧波CSF-25-160-2A-GR連續(xù)噴霧顯影和旋轉(zhuǎn)浸沒(méi)顯影。光刻膠顯影過(guò)程需要控制的主要工藝技術(shù)參數(shù)包括：顯影溫度、顯影時(shí)間、顯影液量、當(dāng)量濃度、清洗、排風(fēng)。

       顯影后的熱烘培稱為堅(jiān)日本HD產(chǎn)線傳送諧波CSF-25-160-2A-GR膜烘培，目的是蒸發(fā)掉硅片光刻膠中剩余溶劑，從而使光刻膠變硬，提高光刻膠與硅片的粘附性。堅(jiān)膜過(guò)程也可以蒸發(fā)掉殘余在硅片上的顯影液和清洗用水。堅(jiān)日本HD產(chǎn)線傳送諧波CSF-25-160-2A-GR膜過(guò)程通常在硅片軌道系統(tǒng)的熱板上，或在生產(chǎn)線上的專(zhuān)用爐中完成。堅(jiān)膜溫度大致為：正膠130℃，負(fù)膠150℃。

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